SEM掃描電鏡被廣泛的使用于各類材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)研究
日期:2023-05-09 09:23:14 瀏覽次數(shù):67
掃描電鏡如今被廣泛的使用于各類材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機制及材料性能測試等領(lǐng)域的研究。儀器主要由七大系統(tǒng)組成,即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。其中重要的三個系統(tǒng)是電子光學(xué)系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。
SEM掃描電鏡的日常維護:
1、保持掃描電鏡操作臺面整潔,不允許身體倚靠,凍水機等裝置不可放置重物;
2、開機時一定要先開水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度,關(guān)機至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水;
3、進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置、緩緩關(guān)閉樣品室,確保進樣倉門徹底關(guān)閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣;
4、移動樣品,通過配合移動StageDriver將載物臺向X軸和Y軸方向移動,從而移動樣品,并保證小于大允許值;
5、傾斜樣品,-10°~+45°,要十分當(dāng)心,不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度,注樣品可傾斜的大安全角度要小于允許值,防止樣品撞傷物鏡極靴;
6、用BSE探頭時不可傾斜樣品臺;
7、樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出,不作樣品掃描時要關(guān)閉高壓;
8、放氣時HT要處于關(guān)閉狀態(tài),一定要等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門;
9、更換鎢燈絲時,等待兩分鐘時間,然后打開電子槍,用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩,以免被燙傷;
10、SEM掃描電鏡需要手動調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散,工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等,其他部件不允許調(diào)整;
11、每周加兩到三次液氮,兩次間隔不超過四天。
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