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SEM掃描電鏡的具體幾個功能用途有哪些呢?

日期:2023-03-31 09:16:19 瀏覽次數(shù):120

大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色,例如:生物學,植物學,地質(zhì)學,冶金學等等。觀察可以是一個樣品的表面,也可以是一個切開的面,或是一個斷面。冶金學家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶體的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙,紡織品,自然的或制備過的木頭的細微結(jié)構(gòu),生物學家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如:花粉顆粒,硅藻和昆蟲。另一方面,它可以拍出與樣品表面相應的立體感強的照片。

 掃描電鏡.jpg

SEM掃描電鏡應用中,很多集中在半導體器件和集成電路方面,它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況,這是因為這種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細節(jié)或相互關系可以很容易地觀察到。利用束感生電流,可以觀測半導體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。 電子束與樣品作用區(qū)內(nèi),還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關信號。例如:與樣品化學成分分布相關的,背散射電子,特征X射線,俄歇電子,陰極熒光,樣品吸收電流等;與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關的,背散射電子衍射現(xiàn)象的探測;與半導體材料電學性能相關的,二次電子信號、電子束感生電流信號;在觀察薄樣品時產(chǎn)生的透射電子信號等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室,用于探測和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關信息。

SEM掃描電鏡對于固體材料的研究應用非常廣泛,沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對于固體材料的全面特征的描述,掃描電鏡是至關重要的。

具體功能用途歸納如下:

1、SEM掃描電鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌,形態(tài)圖像(二次電子探測器SEI)-形貌分析(表面幾何形態(tài),形狀,尺寸)

2、顯示化學成分的空間變化,基于化學成分的相鑒定---化學成分像分布,微區(qū)化學成分分析.

1) 用x射線能譜儀或波譜采集特征x射線信號,生成與樣品形貌相對應的,元素面分布圖或者進行定點化學成分定性定量分析,相鑒定。

2) 利用背散射電子BSE基于平均原子序數(shù)(一般和相對密度相關)反差,生成化學成分相的分布圖像;

3) 利用陰極熒光,基于某些痕量元素(如過渡金屬元素,稀土元素等)受電子束激發(fā)的光強反差,生成的痕量元素分布圖像。

4)利用樣品電流,基于平均原子序數(shù)反差,生成的化學成分相的分布圖像,該圖像與背散射電子圖像亮暗相反。