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SEM掃描電子顯微鏡組成部分的介紹

日期:2023-03-24 14:08:33 瀏覽次數(shù):78

電子光學(xué)系統(tǒng):

  組成:電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。

  作用:獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。

信號收集和顯示系統(tǒng):

  信號收集:二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器(波譜儀和能譜儀)

  顯示系統(tǒng):顯示屏有兩個(gè),一個(gè)用于觀察,一個(gè)用于記錄照相。

真空系統(tǒng):

  組成:機(jī)械泵、擴(kuò)散泵

  作用:保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作,提供高真空度,防止樣品污染,保持燈絲壽命,防止極間放電。

電源系統(tǒng):

  包括啟動的各種電源,檢測-放大系統(tǒng)電源,光電倍增管電源,真空系統(tǒng)和成像系統(tǒng)電源燈。還有穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路。