電子光學(xué)系統(tǒng)清洗的一般原則：

掃描電鏡電子光學(xué)鏡筒的某些部位可能會觀察到有不同程度的污染跡象，例如電子槍亮度減低，電子透鏡的象散加大，這需要操作者判斷污染的部位和程度。拆卸這些部位，朝向電子束的任何表面可能都需要一次或多次清洗和拋光。清潔的電鏡，電子束亮度Zgao，圖象信噪比較好，象散較小，象散器位置接近零位。

1、清洗頻率

清洗SEM掃描電鏡的頻率取決于一系列因素及條件，其中包括：使用時間、樣品種類、加速電壓及電子束流等。

每次更換燈絲時，柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗，不必清洗陽極和陽極帽。當(dāng)見到明顯的污染及圖象象散過大時，就應(yīng)清洗物鏡光闌柄并用酒精燈燒物鏡光闌或換新光闌。如果上述部位都已被清洗過，還有明顯的污染和象散跡象，則應(yīng)拆下襯管進行清洗。

一般油擴散泵真空系統(tǒng)，每三個月就要徹底清洗一次。渦輪分子泵真空系統(tǒng)，正常使用，每年徹底清洗一次。

2、清洗部位

需要強調(diào)指出的是物鏡下極靴孔，如想清洗，須由有經(jīng)驗的廠家維修工程師來清洗，若損傷物鏡的表面或邊緣將嚴重影響掃描電鏡的性能。在發(fā)現(xiàn)SEM掃描電鏡有信號減弱和象散增大的跡象后，就要判斷污染所在的地方。這由掃描電鏡的真空泵類型決定，一般由“70/20/10”規(guī)則判斷。

①帶有離子泵發(fā)射室的，當(dāng)發(fā)現(xiàn)存在污染時，70%的幾率是物鏡光闌污染。20%的幾率是電子槍需要清洗。10%的幾率是鏡筒襯管、物鏡極靴或探測器。

②不帶離子泵發(fā)射室的當(dāng)發(fā)現(xiàn)存在污染時，70%出在電子槍區(qū)域。20%出在物鏡光闌。10%為鏡筒襯管、物鏡極靴或探測器。

二、物鏡光闌的清洗和維護

所有的鉑金光闌都可用酒精燈燃燒清洗(也可在鍍膜機鉬舟上燒)。光闌要輕拿輕放，只能用干凈的鑷子夾住其邊緣，不要用鑷子劃傷光闌表面，也不要夾持光闌孔。

1、從SEM掃描電鏡上拆下光闌，放進一只鉑金光闌加熱器具內(nèi)。每次只加熱一只光闌。沒有加熱器具的，用鑷子夾住光闌的邊緣，放在酒精燈的火焰上方。

2、在酒精燈上燒半分種，將光闌加熱到鮮紅色，不要燒至白色，因為過分加熱將損害光闌。還要小心如果光闌被燒成了看來象“鱷魚皮”(表面呈顆粒狀)，就得放棄這只光闌再換一只新的了。

物鏡光闌一定要定期從鏡筒中拆下進行清洗。清洗頻率不一定，它要根據(jù)掃描電鏡的使用次數(shù)和樣品等決定。象散增加或圖象噪音增大直接地表示出光闌變臟。

三、電子槍的清洗和維護

SEM掃描電鏡鎢燈絲的壽命取決于合適的電流飽和點、細致的燈絲加熱、電子槍真空度和發(fā)射束流。如果燈絲在操作期間燒斷，觀察管上的圖象信號將消失，發(fā)射束流將降到零，并且燈絲燒斷，燈絲綠色指示滅。

1、拆卸燈絲并清洗燈絲組件：用氨水將燈絲組件柵帽光闌附近的揮發(fā)物擦拭干凈，然后再用酒精擦一遍。注意：如果燈絲組件用的時間較長，除了柵帽光闌附近，其它部位也較臟，將整個組件全部拆下清洗，然后再重新組裝。

2、燈絲重裝及燈絲調(diào)中調(diào)節(jié)燈絲到柵極帽光闌的距離，并使得燈絲正好在柵極光闌ZX。注意：燈絲對中可以使用低倍體視光學(xué)顯微鏡。目前大多數(shù)燈絲采用工廠預(yù)對中燈絲，標(biāo)準(zhǔn)化呼喚，不必進行調(diào)整。

3、將裝好的電子槍組件重新安放到發(fā)射室上，注意“O”型圈上不要沾有灰塵或毛狀物，注意：如果新燈絲的飽和點發(fā)射束流比理論值高或者低，可能燈絲的距離有錯誤。

在清洗完掃描電鏡電子槍部件時，要多抽一些時間真空，要保持環(huán)境的干燥和清潔。因為這是電子束產(chǎn)生的源頭。當(dāng)清洗電子槍部件時不要試圖走捷徑;不要立即為新燈絲加電流，要等到適當(dāng)?shù)母哒婵?不要彎折電子槍高壓電纜;不能指望鎢燈絲柵帽中的鉭柵帽光闌會持久。